新闻中心
捷诺芯申请研磨液在线浓度计及异常检测自动验证方法装置专利 能及时有效地发现异常原因所在
类别:新闻中心 来源:米兰平台 发布时间:2026-01-04 15:20:51 浏览:1
金融界2025年7月25日消息,国家知识产权局信息数据显示,上海捷诺芯半导体科技有限公司申请一项名为“一种研磨液在线浓度计及异常检测自动验证方法、装置”的专利,公开号CN120369885A,申请日期为2025年05月。
专利摘要显示,本申请提供一种研磨液在线浓度计及异常检测自动验证方法、装置,应用于研磨液在线浓度异常检测的自动验证技术领域,其中利用设备内部正在使用的两种已知浓度的滴定溶液为标准物,通过两种试剂进行自动滴定,从而在滴定后检查滴定结果出没出现固定参数范围内的值,进而可以依据滴定结果确认设备是不是真的存在故障问题。其中,若设备存在问题,则能够表明异常数据是设备故障问题造成,从而能够通过更换浓度计设备;若设备无故障问题,则能够表明异常是因工艺生产中的研磨液浓度发生了变化。因此,通过在线滴定自动验证能够及时有效地发现异常原因所在,方便半导体生产中及时进行生产调整,避免生产损失。
天眼查资料显示,上海捷诺芯半导体科技有限公司,成立于2023年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,上海捷诺芯半导体科技有限公司参与招投标项目2次,专利信息1条,此外企业还拥有行政许可1个。

